【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-压差适配
压差适配范围宽，可在不同进出口压差条件下稳定控流，适应管路压力变化，保障气体输出稳定，适配半导体各类复杂气路工况

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-压差适配

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-压差适配

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）拥有宽泛的压差适配区间，可在多种进出口压差条件下稳定完成流量调控，即便气路压差发生改变，依旧维持流量输出稳定，适配半导体设备复杂多变的气路工况。

半导体不同工艺阶段，管路进出口压差并不恒定。设备腔体抽真空、载气切换、管路支路启停，都会造成 MFC 上下游压差发生变化。普通 MFC 适用压差区间窄，一旦压差超出额定范围，流量就会出现明显偏差，无法稳定供气，限制设备管路布局设计。部分设备为了维持固定压差，需要额外增加调压阀，增加硬件成本与管路复杂度。Brooks MFC 宽压差适配特性，有效降低对前置调压条件的依赖。

该系列 MFC 经过流体结构优化，在允许压差区间内，流量测量与闭环控制保持稳定。上游供气压力变化、下游腔压波动带来的压差改变，仪表可以自适应调节，保证输出流量不产生大幅偏移。流路可选不锈钢或者哈氏合金材质，搭配全金属密封，能够承受压差冲击，避免压力骤变造成密封面损伤，防止泄漏。

仪表保留 MultiFlo™多气体、量程可编程功能，更换工艺气体、修改量程参数后，压差适配性能不受影响。同时兼顾控流精准、响应快速、零点稳定、高重复性等核心指标。支持模拟、RS485、EtherCAT 等多种通讯协议，便于接入自动化设备控制系统。精密阀芯阀座实现超低泄漏，压差波动时也不会出现气体串扰。产品量程覆盖从微量 sccm 到大流量 slpm，全量程型号均具备良好的压差适应性。

宽泛的压差适配能力，简化前端气路调压设计，减少调压阀等配套零部件，降低设备物料成本。设备布局设计更加灵活，气路改造、工艺升级更加方便。广泛应用于 ALD、CVD、刻蚀、MOCVD 半导体工艺，同时适配光伏、氢能、特种气体分析仪器等流体控制场景。

优秀的压差自适应能力，降低气路设计门槛，弱化对稳定前置压力的硬性要求，减少压差波动引发的工艺偏差，稳定工艺窗口，降低调试与运维成本，是气路压差多变工况下精密气体流量控制的可靠选择。