【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-宽压耐受
宽压耐受，可在宽泛压力区间稳定运行，抗压力冲击，内置压力补偿，流量稳定，适配半导体压力波动复杂气路工况

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-宽压耐受

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-宽压耐受

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）具备优异宽压耐受能力，可在宽泛的上下游压力区间稳定工作，耐受压力冲击与工况波动，搭配内置压力补偿机制，压力变化时流量控制稳定，适配半导体复杂气路环境。

半导体设备气路工况多变，供气端压力波动、腔体抽放气、多支路轮流启停，都会带来压力骤升骤降。普通 MFC 耐受压力范围窄，压力超出区间后，不仅流量精度大幅下降，还可能出现密封失效、颗粒生成、阀门泄漏等问题，严重时会直接损坏仪表，因此往往需要配套复杂的稳压管路，增加硬件成本与调试难度。Brooks MFC 依托材质与算法双重设计，实现宽压力范围稳定运行。

该系列 MFC 流路可选不锈钢或哈氏合金，搭配全金属密封结构，机械强度高，抗压力冲击性能突出，可承受较大的进出口压力变化，不会因瞬时压力冲击造成密封面损伤。内置压力传感与动态补偿算法，在允许的宽压力区间内，自动修正流量计算系数，维持流量精度、重复性与零点性能，压力波动不会带来明显的测量漂移。

仪表搭载 MultiFlo™多气体兼容与量程可编程功能，在不同压力环境下切换反应气体、修改有效量程，核心控制性能不受影响。精密阀芯阀座保障超低泄漏，压力变化过程中，有效阻隔不同气体串扰，保护反应腔体纯度。支持模拟、RS485、EtherCAT 等多种通讯协议，方便接入自动化主控系统，实时监测压力与流量状态。产品线覆盖微量 sccm 到大流量 slpm，全量程型号均具备宽压耐受特性。

的宽压耐受能力，降低前端稳压部件的依赖，简化气路设计，减少调压阀等配套物料，降低设备研发与备件成本。工艺配方迭代、气路改造时，压力小幅变动无需重新调整硬件。广泛应用于 ALD、CVD、刻蚀、MOCVD 等半导体制程，也适配光伏、氢能、特种气体分析仪器等流体测控场景。Brooks 布鲁克斯 MFC 凭借宽压耐受的优势，增强设备工况适应性，减少压力波动引发的工艺缺陷，提升产线连续运行稳定性，是压力波动工况下精密气体流量控制的优选方案。