【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-高温可选
高温可选，适配可凝前驱体工况，搭配哈氏合金全金属流路，低析出，防止介质冷凝，用于 MOCVD、ALD 高温半导体制程

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-高温可选

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-高温可选

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）提供高温版本选型，专为可凝前驱体介质设计，可维持管路高温环境，避免介质冷凝沉积，搭配哈氏合金全金属密封流路，低析出抗腐蚀，适配 MOCVD、ALD 高温半导体严苛制程。

在 MOCVD、ALD 薄膜沉积工艺中，大量使用金属有机前驱体，这类介质沸点较高，一旦温度下降极易冷凝，附着在 MFC 流道内壁，堆积形成固体颗粒，堵塞传感器与阀座，造成流量漂移、阀门卡滞，污染反应腔体，直接降低晶圆良率。普通常温 MFC 无法解决前驱体冷凝问题，高温款 MFC 通过整机温控设计，保持介质全程气态。

高温型号集成伴热温控结构，可维持仪表整体处于设定高温区间，从源头避免前驱体在流路内部冷凝。流路可选哈氏合金材质，搭配全金属密封，无橡胶密封件，高温下不会出现有机材料老化、有机物析出，耐高温同时兼具强耐腐蚀性，抵御反应气体与前驱体副产物侵蚀。流道经电解抛光处理，内壁粗糙度低，减少介质吸附残留，降低颗粒堆积风险。

仪表保留 MultiFlo™多气体功能与量程可编程特性，在高温工况下切换不同反应气体，流量控制性能稳定。维持控流精准、响应迅速、零点稳定、高重复性、超低泄漏等核心指标，高温设计不会牺牲仪表流量控制能力。支持模拟、RS485、EtherCAT 等通讯方式，便于接入自动化设备控制系统。精密阀座保障高频启停下断阀可靠，防止气体交叉串扰。

产品线覆盖微量 sccm 到大流量 slpm，高温规格可按需选配，适配不同前驱体与流量需求。除半导体薄膜沉积外，也适用于特种化工、实验室高温蒸汽与反应气体测控场景。

高温可选方案有效解决可凝前驱体冷凝难题，减少管路颗粒与沉积物，降低仪表故障概率，延长使用寿命，减少停机维护与备件更换成本，稳定高温反应工艺窗口，提升生产良率，是含可凝前驱体高温精密气体流量控制的可靠方案。