【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-低温适配
低温适配，可在低温工况稳定测控，专用流路材质抗低温应力，密封可靠，流量性能稳定，适配特种低温气体半导体实验场景

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-低温适配

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-低温适配

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）具备低温适配选型，可在低温工况下稳定完成流量测控，专用流路材质抵御低温应力，密封结构可靠，流量测量与控制性能稳定，适配特种低温气体以及半导体实验研发场景。

半导体研发、特种气体实验等场景常会遇到低温供气工况，部分液化气体经减压后维持低温状态。常规 MFC 在低温环境下，金属部件会产生冷缩，普通密封件容易因温差应力出现形变、硬化，引发泄漏；同时低温会改变气体物性，造成流量测量偏差，传感器、驱动机构动作异常，影响工艺重复性。低温适配版本针对低温带来的材料形变与气体物性变化做专项优化。

仪表选用适配低温环境的合金流路，可选用不锈钢或哈氏合金材质，搭配全金属密封结构，金属对金属密封能够耐受低温收缩带来的形变，不会像橡胶密封件那样低温硬化脆裂。流路经过电解抛光处理，内壁光洁，减少低温下气体吸附凝结，降低沉积物堆积。内置算法针对低温气体物性做补偿修正，抵消低温带来的测量误差。

设备保留 MultiFlo™多气体兼容与量程可编程能力，低温环境下切换多种特种气体，依旧保持控流精准、响应快速、零点稳定、高重复度等核心性能。精密阀芯阀座保证超低泄漏，即便温度持续处于低温区间，频繁启闭时断阀依然可靠。支持模拟、RS485、EtherCAT 等多种通讯协议，方便接入自动化控制系统实时采集流量数据。产品线覆盖微量 sccm 到大流量 slpm，低温规格按需选配。

除半导体实验室研发之外，该型号同样适用于低温特种气体、低温化工、低温材料制备等流体测控场景。优秀的低温适配能力，缓解低温冷缩带来的密封失效风险，减少低温环境下流量漂移，降低故障与泄漏隐患，减少现场调试与维护工作量，保障低温工况下气体配比稳定，是低温特种气体精密流量控制的可靠方案。