MKS美国-电容压力计-Incoloy 合金可选 耐多种腐蚀性工艺气体，抗蠕变，释气低，适配半导体、镀膜等严苛真空工况，保障压力测量稳定可靠

MKS美国-电容压力计-Inconel 接液材质 耐卤素与腐蚀性工艺气体，抗蠕变抗老化，保障真空压力测量长期稳定，适配半导体严苛制程环境。

MKS美国-电容压力计-镍基合金膜片 抗腐蚀、抗蠕变，弹性性能稳定，耐受各类工艺气体，保障真空压力测量精度，适配半导体严苛制程环境。

MKS美国-电容压力计-长期信号稳定性 特种金属膜片抗疲劳，内置温度补偿，零点漂移低，长期连续运行信号无偏移，适配半导体真空制程监测

MKS美国-电容压力计-快速压力响应 高灵敏金属膜片可迅速感知压力变化，信号处理链路延迟低，实时反馈真空动态压力波动，适配半导体工艺闭环控制

MKS美国-电容压力计-低迟滞传感特性 精密金属膜片形变可逆，升降压行程测量偏差小，配合信号优化，压力测量响应线性稳定，适用于半导体真空精密制程