MKS美国-电容压力计-卤素气体耐受 采用 Inconel/Incoloy 合金接液面，抵抗卤素介质侵蚀，维持测量精度，适配半导体刻蚀等含卤素真空工艺。

MKS美国-电容压力计-强耐腐蚀能力可选 Inconel/Incoloy 合金接液材质，耐受卤素、氧化性工艺气体，减少介质侵蚀，保障真空测量长期稳定。

MKS美国-电容压力计-膜片破裂介质密闭 一旦接液膜片意外破损，可锁住工艺介质，防止外泄污染腔体，保障真空系统安全，降低制程风险

MKS美国-电容压力计-双层安全防护结构 可抵御瞬时超压冲击，防止膜片破损，隔离工艺介质，保护传感元件，保障真空测量安全稳定运行

MKS美国-电容压力计-100% 出厂检漏 每台传感器经过气密性检测，杜绝微泄漏隐患，保障真空密封性，为半导体精密工艺提供可靠稳定的压力测量。

MKS美国-电容压力计-全焊接传感器结构 无密封垫片，气密性优异，泄漏风险低，可抵御工艺介质侵蚀，保障真空压力测量长期稳定可靠