【简介】MKS美国-电容压力计-强耐腐蚀能力可选 Inconel/Incoloy 合金接液材质，耐受卤素、氧化性工艺气体，减少介质侵蚀，保障真空测量长期稳定。

MKS美国-电容压力计-强耐腐蚀能力

MKS美国-电容压力计-强耐腐蚀能力

MKS 美国 Baratron 电容压力计具备强耐腐蚀能力，依托 Inconel 镍基合金或可选 Incoloy 铁镍基合金接液材质，可应对半导体制程内各类腐蚀性工艺气体，在严苛化学环境下保持传感性能稳定，是腐蚀工况真空压力监测的优选设备。

半导体刻蚀、薄膜沉积等工艺常会用到卤素、氧化性、弱还原性气体，部分工况伴随水汽与微量化学蒸汽。普通不锈钢材质传感器长期接触这类介质，表面易发生点蚀、氧化，腐蚀产物会附着在膜片表面，改变膜片力学特性，造成零点漂移、测量精度下降，严重时膜片穿孔引发泄漏，导致腔体污染与产线停机。

Inconel 与 Incoloy 合金内部铬、镍元素含量高，材料化学惰性优异，接液表面不易与工艺介质发生化学反应。合金组织结构致密均匀，抗点蚀、抗缝隙腐蚀性能突出，能够抵御卤素、臭氧、氮化物等多种腐蚀性气体侵蚀，不会轻易产生腐蚀剥落物。即便在高低温循环、交变压力的长期工况下，接液表面依旧保持完整洁净，不会因介质侵蚀影响膜片弹性形变，保障传感器低迟滞、高重复性、长期信号稳定等核心测量指标。

搭配全焊接传感器结构，无垫片等易腐蚀非金属密封件，焊缝区域耐蚀性能与基材接近，不会出现焊缝优先腐蚀的问题。再叠加 100% 出厂检漏与双层安全防护结构，在发挥耐蚀优势的同时，进一步规避腐蚀带来的微泄漏、膜片破损等次生风险。整套设计兼顾耐化学侵蚀能力与真空高洁净要求，材料释气率低，不会释放杂质气体干扰工艺反应环境。

优秀的耐腐蚀性延长传感器使用寿命，降低传感器因腐蚀失效带来的备件更换与停机检修成本。面对复杂腐蚀工艺环境，MKS Baratron 电容压力计可以持续输出精准压力数据，稳定工艺窗口，减少因传感器腐蚀漂移造成的批次不良。在半导体、真空镀膜、材料研发等腐蚀型真空场景中，的抗腐蚀能力，使其能够胜任普通压力传感器无法稳定工作的严苛工艺条件。