【简介】MKS美国-电容压力计-100% 出厂检漏
每台传感器经过气密性检测，杜绝微泄漏隐患，保障真空密封性，为半导体精密工艺提供可靠稳定的压力测量。

MKS美国-电容压力计-100% 出厂检漏

MKS美国-电容压力计-100% 出厂检漏

MKS 美国 Baratron 电容压力计实施100% 出厂检漏质控标准，每一台产品下线前均独立完成气密性检测，从源头消除微泄漏风险，是保障传感器真空密封性、长期稳定运行的重要品质管控手段，适配半导体等高要求真空制程。

普通传感器生产常采用抽样检漏方式，存在个别产品漏检的可能性。一旦压力计存在微小泄漏，在高真空工况下，外界空气渗入腔体，会直接破坏真空环境，造成压力读数漂移、工艺参数失控；腐蚀性工艺气体也可能经由渗漏点侵入传感器内部，侵蚀传感元件，缩短设备寿命，严重时直接导致产线停机报废。而 MKS 坚持全检机制，不做抽样，每只传感器都要通过严苛的检漏流程，不放过微米级微漏缺陷。

检漏过程依托高精度氦检设备开展，灵敏度，可捕捉极其微弱的气体渗漏。检测覆盖传感器全焊接焊缝、接口等所有关键位置，验证整体结构气密性。在模拟真空工作环境下，持续监测漏率指标，只有漏率达标产品才允许流入下一工序。一旦检测发现渗漏缺陷，产品将被隔离返修，排除隐患后方可重新测试，确保交付到客户手中的每一台压力计，密封性能均满足高真空使用标准。

这项全检流程配合全焊接传感器结构，双重保障产品密封可靠性。即便面对反复压力循环、高低温交替、工艺振动等工况，经过出厂检漏验证的传感器依旧可以维持稳定的气密性能，不会出现后期突发泄漏。同时有效避免因泄漏带来的腔体污染、介质交叉污染等问题，维持真空腔体洁净度，保护半导体制程反应环境不受干扰。

100% 出厂检漏将泄漏风险前置拦截，降低现场设备故障概率，减少上门排查、更换备件的运维成本。在刻蚀、薄膜沉积、真空镀膜等对真空度极其敏感的工艺场景，可靠的密封性能保证压力测量数据真实准确，稳定工艺窗口，保障批次产品良率。严格的出厂检漏质控，也成为 MKS Baratron 电容压力计在全球真空测控领域保持口碑与竞争力的重要品质保障。