【简介】MKS美国-电容压力计-卤素气体耐受
采用 Inconel/Incoloy 合金接液面，抵抗卤素介质侵蚀，维持测量精度，适配半导体刻蚀等含卤素真空工艺。

MKS美国-电容压力计-卤素气体耐受

MKS美国-电容压力计-卤素气体耐受

MKS 美国 Baratron 电容压力计具备优异的卤素气体耐受性能，依托 Inconel 镍基合金或可选 Incoloy 铁镍基合金接液材质，可稳定应用于含氟、氯等卤素介质的半导体刻蚀等真空工艺，解决普通传感器难以抵御卤素腐蚀的痛点。

卤素气体化学活性强，具备的侵蚀性，在高温、真空环境下，极易与普通不锈钢等金属发生反应，形成金属卤化物。这类腐蚀产物会附着在传感膜片表面，破坏膜片力学特性，引发零点漂移、测量精度衰减；持续腐蚀还会造成膜片点蚀、穿孔，引发真空泄漏，污染腔体，直接造成晶圆报废与产线停机，是半导体制程中压力传感器失效的主要诱因之一。

Inconel 与 Incoloy 合金富含镍、铬元素，表面可形成稳定致密的钝化膜，能够有效阻滞卤素离子侵入基材内部，抵御氟气、氯气、氯化氢、等卤素及含卤素混合工艺气体的侵蚀。即便在工艺启停带来的高低温交替、压力反复交变环境下，接液表面也不易发生点蚀、晶间腐蚀，保持膜片原始弹性，保障传感器低迟滞、高重复性的测量性能，长期运行信号不漂移。

传感器采用全焊接一体化结构，无橡胶、PTFE 等非金属密封垫片，避免卤素介质腐蚀密封件产生释气或微泄漏。焊缝区域耐蚀性能与基材保持一致，不会出现焊缝优先被卤素介质腐蚀的问题。配合双层安全防护结构与膜片破裂介质密闭设计，即便在工况下，也可遏制介质扩散，降低故障扩大风险。产品 100% 出厂氦检，保证密封性能，杜绝卤素气体从渗漏点侵入传感器内部。

的卤素耐受能力拓展了设备的工艺适配范围，无需频繁更换传感器，减少备件采购与停机维护成本。在半导体干法刻蚀、等离子工艺、含卤素气体薄膜沉积等严苛场景中，传感器可长期稳定监测真空压力，保障工艺窗口稳定，降低因传感器腐蚀失效带来的批次不良风险。出色的卤素耐受特性，让 MKS Baratron 电容压力计成为含卤素真空工艺压力测量的主流选型。