【简介】MKS美国-电容压力计-Incoloy 合金可选
耐多种腐蚀性工艺气体，抗蠕变，释气低，适配半导体、镀膜等严苛真空工况，保障压力测量稳定可靠

MKS美国-电容压力计-Incoloy 合金可选

MKS美国-电容压力计-Incoloy 合金可选

MKS 美国 Baratron 电容压力计提供Incoloy 合金接液材质可选配置，针对不同工艺介质需求，为用户提供多样化的材质选型方案，适配各类腐蚀性、高洁净真空工艺场景，是半导体与精密真空领域柔性化压力测量解决方案。在标准 Inconel 镍基合金之外，Incoloy 合金选项进一步拓展了压力计的介质兼容范围，满足差异化工况的材料耐受要求。

Incoloy 合金属于铁镍基耐蚀合金，融合了镍、铬、铁等多种元素，材料化学稳定性优异，抗点蚀、抗缝隙腐蚀能力突出，能够耐受多种氧化性与弱还原性工艺气体，同时具备良好的抗高温氧化性能。面对部分含硫介质、氮化物气氛以及高低温交替变化的工艺环境，Incoloy 合金表现出稳定的抗腐蚀能力，接液表面不易被介质侵蚀，不会产生剥落、氧化等现象，避免材质损伤引发的传感漂移。

在机械性能方面，Incoloy 合金结构致密，抗蠕变、抗疲劳特性良好。在反复真空压力交变、工艺启停带来的压力波动工况下，材料应力变化小，不易发生塑性形变，保障膜片弹性响应稳定。配合成熟的焊接工艺，接液腔体密封性佳，材料孔隙率低，释气水平可控，满足高洁净真空制程要求，不会释放杂质气体污染真空腔体，不干扰薄膜沉积、刻蚀等精密工艺反应环境。

该可选材质方案极大提升了产品应用灵活性。部分工艺介质与 Inconel 材质适配受限，选用 Incoloy 合金版本可在保障测量精度、重复性、长期稳定性等核心性能不变的前提下，解决介质兼容难题。设备原有传感架构、信号输出、温度补偿等功能保持不变，依旧拥有低迟滞、快速响应、超高分辨率等测量优势，用户仅通过材质选型，即可匹配对应的工艺介质。

多样化材质选型是 MKS 电容压力计适配复杂工业场景的重要设计。Incoloy 合金可选版本，有效覆盖更多中强腐蚀真空工况，减少因介质腐蚀造成的传感器损坏与停机维护，降低产线运维成本。广泛应用于半导体工艺、真空镀膜、材料研发等领域，为不同工艺条件的客户提供可靠、灵活的真空压力测量选型方案。