【简介】MKS美国-电容压力计-臭氧工况兼容
Inconel/Incoloy 合金接液材质耐强氧化，抵御臭氧侵蚀，维持压力测量稳定，适配半导体氧化工艺

MKS美国-电容压力计-臭氧工况兼容

MKS美国-电容压力计-臭氧工况兼容

MKS 美国 Baratron 电容压力计具备可靠的臭氧工况兼容能力，依托 Inconel 镍基合金与可选 Incoloy 铁镍基合金接液材质，可长期在强氧化性臭氧环境下稳定工作，满足半导体氧化、表面处理等臭氧相关真空工艺的压力监测需求。

臭氧属于强氧化性介质，化学活性，在真空环境中极易氧化普通金属与非金属材料。常规不锈钢传感器长期接触臭氧，表面会持续发生氧化反应，产生氧化层剥落，改变传感膜片力学特性，造成零点漂移、测量精度下降；橡胶、塑料类密封件遇臭氧会快速老化脆裂，引发真空泄漏，污染腔体，严重影响工艺稳定性。而 Inconel、Incoloy 合金表面可生成致密稳定的钝化氧化膜，抵御臭氧持续氧化侵蚀，基材不易被氧化损耗，接液表面可长期保持光洁完整。

该合金材质抗蠕变、抗疲劳性能良好，在臭氧工艺反复启停、高低温交替、压力交变的工况下，膜片弹性不会快速衰减，持续保障传感器低迟滞、高重复性、长期信号稳定等核心测量指标。传感器采用全焊接一体化结构，摒弃易被臭氧腐蚀老化的非金属垫片，消除密封件失效隐患，焊缝耐氧化能力与基材保持一致，不会出现焊缝优先腐蚀破损的问题。搭配双层安全防护、膜片破裂介质密闭设计以及 100% 出厂氦检，构建多重安全保障，即便出现工况，也可限制介质扩散，降低故障扩大风险。

臭氧工艺对腔体洁净度要求严苛，该压力计接液材质释气率低，不会析出杂质污染真空环境，不会干扰臭氧参与的氧化反应过程。传感器原有测量性能不受臭氧介质影响，压力响应速度、分辨率均可维持出厂标准。

优异的臭氧兼容特性拓宽了产品应用边界，减少传感器因氧化老化导致的更换频次，降低产线停机维护成本。在半导体臭氧氧化、等离子表面改性、臭氧薄膜处理等工艺中，该压力计能够持续输出精准稳定的压力数据，稳定工艺窗口，减少产品不良率，是强氧化性臭氧真空工况下压力测量的可靠解决方案。