【简介】MKS美国-电容压力计-蒸汽介质适配
Inconel/Incoloy 合金接液面耐水汽侵蚀，低释气，可稳定监测压力，适配含水汽的真空工艺环境。

MKS美国-电容压力计-蒸汽介质适配

MKS美国-电容压力计-蒸汽介质适配

MKS 美国 Baratron 电容压力计具备良好的蒸汽介质适配能力，依托 Inconel 镍基合金与可选 Incoloy 铁镍基合金接液材质，可稳定应用于含有水汽、蒸汽的真空工艺环境，解决普通传感器遇水汽易氧化、锈蚀的痛点，为含水汽工况提供可靠压力监测方案。

真空工艺中的蒸汽、水汽介质，在高低温交替环境下极易在金属表面凝结，形成潮湿腐蚀环境。普通不锈钢传感器长期接触冷凝水汽，会逐步发生氧化生锈、表面点蚀；非金属密封件遇高温蒸汽容易老化、溶胀，产生微泄漏与杂质释气，进而导致膜片形变异常、零点漂移，压力测量失准，严重时污染真空腔体，造成工艺中断。Inconel 与 Incoloy 合金化学稳定性强，在潮湿蒸汽环境下依旧可以形成致密钝化膜，抵御水汽、冷凝水带来的氧化与点蚀，接液表面不易锈蚀，材质完整性得到保障。

合金材质抗蠕变、抗疲劳性能优异，在蒸汽带来的温度波动、反复压力交变工况下，传感膜片力学特性保持稳定，弹性形变回复一致，持续支撑低迟滞、高重复性的测量性能。传感器采用全焊接一体式结构，无易受蒸汽侵蚀的垫片组件，焊缝耐水汽腐蚀能力与基材匹配，不会从接缝位置发生腐蚀渗漏。叠加双层安全防护结构与膜片破裂介质密闭设计，配合 100% 出厂氦检，多重防护降低水汽侵蚀带来的泄漏、膜片破损风险。

同时该压力计接液材质致密，吸附水汽能力弱，排气性能良好，释气水平低，不会持续释放杂质，满足高洁净真空工艺要求，不会干扰工艺反应环境。在正常工作区间，蒸汽介质不会干扰膜片形变感知，传感器快速响应、高分辨率等测量指标保持不变。

可靠的蒸汽介质适配能力，扩大了产品工艺适用范围，减少传感器因水汽腐蚀失效带来的备件更换与停机检修成本。在含水汽等离子工艺、湿法衍生真空制程、材料表面处理等场景中，压力计可持续输出精准压力信号，稳定工艺窗口，降低不良品产生概率，是含蒸汽、水汽真空工况压力测量的优质选择。