【简介】MKS美国-电容压力计-80℃恒温控制
稳定维持传感器温度，有效抑制高露点介质冷凝，保护膜片，保障压力测量稳定，适配易凝性强的真空工艺

MKS美国-电容压力计-80℃恒温控制

MKS美国-电容压力计-80℃恒温控制

MKS 美国 Baratron 电容压力计提供80℃恒温控制型号可选，将传感器接液端稳定维持在 80℃高温，针对高露点、强可凝性工艺介质，有效避免蒸汽、有机气体在膜片表面冷凝积液，保障压力测量精度长期稳定，适配严苛可凝介质真空制程。

在半导体真空工艺中，部分有机蒸汽、高浓度水汽介质露点较高，常规 45℃恒温方案不足以阻止介质凝结。一旦冷凝液附着在传感膜片表面，会改变膜片自重与力学特性，引发零点漂移、读数跳变；长期积液还会加速膜片腐蚀，甚至造成管路堵塞，破坏真空环境，导致工艺参数失控，增加产品不良风险。80℃恒温版本通过更高的恒温设定，让传感器温度远高于介质露点，从源头杜绝介质冷凝附着膜片。

该款恒温压力计膜片选用 Inconel 镍基合金或可选 Incoloy 铁镍基合金，耐高温与耐腐蚀性能优异，可同时耐受高温环境与卤素、臭氧、水汽等强腐蚀介质。传感器采用全焊接一体化结构，无易受热老化的非金属垫片，焊缝强度稳定可靠，搭配双层安全防护结构与 100% 出厂氦检，保障高温工况下结构刚性与密封性能。80℃恒温系统独立运行，温控过程不会干扰膜片形变感知，传感器高分辨率、低迟滞、快速响应、高重复性等核心测量指标不受温度影响。

相比 45℃恒温型号，80℃版本应对高露点介质能力更强，适用介质范围更广。同时传感器保留原有高过压耐受、抗压力冲击、过压不易零点漂移等安全特性，高温工作状态下依旧具备充足安全冗余。

80℃恒温控制方案大幅降低冷凝带来的传感器失效、频繁校准与管路清理成本。在有机前驱体沉积、高水汽等离子工艺等高露点真空场景中，80℃恒温 Baratron 电容压力计可持续输出精准压力数据，稳定工艺窗口，减少批量不良产生，是高露点可凝介质真空压力监测的可靠解决方案。