【简介】MKS美国-电容压力计-150℃高温型可选
维持传感器高温工况，防止高沸点介质冷凝，保护膜片性能，保障压力测量稳定，适配高可凝介质真空工艺。

MKS美国-电容压力计-150℃高温型可选

MKS美国-电容压力计-150℃高温型可选

MKS 美国 Baratron 电容压力计提供150℃高温型可选，可将传感器接液端稳定维持在 150℃高温工况，针对高沸点、超高露点工艺介质，有效避免有机前驱体、重质蒸汽在膜片表面冷凝沉积，保障压力测量长期稳定，适配严苛的真空制程。

半导体薄膜制备等工艺常会用到高沸点有机前驱体，这类介质露，常规 45℃、80℃、100℃恒温型号无法阻止介质冷凝。一旦蒸汽接触低温膜片发生液化，凝液附着会改变膜片质量与力学特性，造成零点漂移、读数失真；长期沉积还会污染膜片、诱发腐蚀，严重时堵塞取压管路，破坏真空环境，引发工艺参数波动与产品批量不良。150℃高温版本依靠更高的恒温设定，使传感器温度高于介质露点，从源头杜绝介质凝附。

该高温型压力计膜片选用 Inconel 镍基合金或可选 Incoloy 铁镍基合金，耐高温、抗蠕变与耐腐蚀性能优异，可长期承受 150℃持续工作温度，同时耐受卤素、有机蒸汽等腐蚀性介质。传感器采用全焊接一体化结构，摒弃易受热老化的非金属密封垫片，焊缝强度可靠；搭配双层安全防护结构与 100% 出厂氦检，确保高温工况下结构刚性与密封完整性。恒温系统独立工作，温控运行不会干扰膜片形变感知，传感器高分辨率、低迟滞、快速响应、高重复性等核心测量性能不受高温影响。

相比低温度恒温型号，150℃高温版本对高沸点有机介质的防护能力更强，可应对更为苛刻的可凝介质工况。传感器完整保留高过压耐受、抗压力冲击、过压不易零点漂移等安全特性，高温环境下依旧具备充足安全冗余。

150℃高温型方案大幅减少冷凝沉积引发的传感器故障、频繁校准与管路清理成本。在金属有机气相沉积、高沸点前驱体薄膜工艺等高露点真空场景中，150℃高温 Baratron 电容压力计可持续输出精准压力数据，稳定工艺窗口，降低批量不良率，是高沸点可凝介质真空压力监测的选型。