【简介】MKS美国-电容压力计-200℃超高温型号
稳定维持传感器高温，抑制高沸点前驱体冷凝沉积，保护膜片，保障压力测量精准，适配严苛有机介质真空工艺。

MKS美国-电容压力计-200℃超高温型号

MKS美国-电容压力计-200℃超高温型号

MKS 美国 Baratron 电容压力计提供200℃超高温型号，可将传感器接液区域稳定维持在 200℃，针对超高沸点有机前驱体、重质蒸汽等介质，有效阻止介质冷凝沉积在膜片表面，持续保障压力测量精度，适配半导体严苛高温真空制程。

在 MOCVD、有机薄膜沉积等工艺场景中，大量使用高沸点金属有机前驱体，这类介质露点，150℃及以下恒温版本难以避免蒸汽液化。一旦介质在传感膜片上凝结沉积，会改变膜片自重与力学特性，引发零点漂移、读数跳变；长期积垢还会腐蚀膜片、堵塞取压通道，造成真空环境恶化，工艺参数失控，引发批量产品不良与频繁停机维护。200℃超高温型号凭借更高的恒定温度，使传感器温度高于介质露点，从根源杜绝介质凝附沉积。

该超高温压力计膜片选用 Inconel 镍基合金或可选 Incoloy 铁镍基合金，耐高温蠕变、抗疲劳与耐腐蚀性能突出，可长期承受 200℃持续工作温度，同时耐受卤素、有机蒸汽等腐蚀性工艺介质。传感器采用全焊接一体化结构，无受热易老化的非金属垫片，焊缝强度稳定，搭配双层安全防护结构以及 100% 出厂氦检，确保高温工况下整体结构刚性与密封完整性。温控系统独立运行，不会干扰膜片形变感知，传感器高分辨率、低迟滞、快速响应、高重复性等核心测量性能不受高温影响。

对比 150℃高温型号，200℃超高温版本针对超高沸点前驱体介质防护能力更强，适配更为苛刻的工艺环境。传感器完整保留高过压耐受、抗压力冲击、过压不易零点漂移等安全特性，在持续高温工况下依旧具备充足安全冗余。

200℃超高温型号有效减少冷凝积垢带来的传感器失效、反复校准与管路清洗成本。在金属有机气相沉积、高沸点前驱体真空工艺等高要求场景中，200℃超高温 Baratron 电容压力计可持续输出稳定可靠的压力数据，稳固工艺窗口，降低产品不良率，是超高沸点可凝介质真空压力监测的解决方案。