【简介】MKS美国-电容压力计-高过压耐受保护
镍合金张拉膜片可承受瞬时超压冲击，避免传感元件损坏。电容式气体无关测量，保障半导体真空系统压力监测安全可靠。

MKS美国-电容压力计-高过压耐受保护

MKS美国-电容压力计-高过压耐受保护

MKS 美国电容压力计搭载高过压耐受保护设计，依托镍合金径向张拉膜片与腔体结构优化，可承受瞬时超压冲击，避免传感元件性损伤，保障半导体刻蚀、薄膜沉积、等离子工艺、真空检漏等真空系统在压力异常工况下稳定运行，为真空压力监测提供可靠安全防护。

真空工艺系统在操作中，常会出现误操作、阀门异常开启、管路气体突发涌入等情况，造成腔体瞬间压力骤升。普通真空压力传感器膜片耐受能力弱，一旦遭遇过压冲击，极易发生膜片塑性变形，直接导致零点漂移、测量精度失效，甚至造成传感器报废，中断产线生产。MKS 在传感元件设计阶段充分考量过压风险，选用高强度镍合金材质制作径向张拉膜片，配合预张拉工艺，膜片拥有良好机械韧性，在超出额定量程的瞬时压力冲击下，不易发生塑性形变，压力回落之后可恢复原有弹性状态，维持传感性能。

传感器采用镍合金全焊接一体化腔体，无橡胶密封垫片，整体结构强度高，在压力冲击下不会出现密封失效、微泄漏问题。内置吸气剂持续维持参考腔高真空基准，稳定零点，即使经历多次短时过压，依旧可以保持测量基准稳定。传感原理为电容式力学检测，具备气体无关特性，仅响应膜片压差形变，不受工艺气体分子量与组分影响，正常工况下保持高精度、高重复性。

产品覆盖多档真空量程，支持标准工业模拟信号输出，可对接真空控制器、PLC 与自动化控制系统。出厂完成多点标定，全量程精度可溯源。即便拥有过压保护，仍需避免长时间持续超压，长期高压载荷依旧会加速元件老化，影响使用寿命。

该仪器用于真空工艺精密压力监测与闭环控制。高过压耐受保护，有效抵御真空系统突发压力冲击，降低传感器损坏停机风险，减少设备更换成本。凭借高强度镍合金张拉膜片、全焊接高刚性腔体、气体无关电容传感、稳定的真空参考腔，MKS 电容压力计是半导体、真空设备、精密气体工艺中兼顾高精度与抗冲击能力的核心精密仪器。