【简介】MKS美国-电容压力计-抗卤素腐蚀接液材质
镍合金全焊接腔体适配含卤素工艺气体，电容传感气体无关，满足半导体刻蚀等强腐蚀真空环境压力监测需求。

MKS美国-电容压力计-抗卤素腐蚀接液材质

MKS美国-电容压力计-抗卤素腐蚀接液材质

MKS 美国电容压力计采用抗卤素腐蚀接液材质，以高性能镍合金作为接液主体，搭配全焊接一体化腔体，可耐受含氯、氟等卤素类强腐蚀工艺气体，适配半导体刻蚀、薄膜沉积、等离子工艺等严苛腐蚀工况，在腐蚀性真空环境中稳定采集压力信号，保障工艺监测长期可靠。

半导体干法刻蚀制程大量使用含卤素气体，这类介质化学活性强，普通不锈钢、橡胶密封件极易被侵蚀，出现点蚀、缝隙腐蚀、材料脆化等问题。一旦传感器接液部位被腐蚀，会造成腔体漏气、膜片损伤，不仅压力读数漂移失效，腐蚀剥落的杂质还会污染工艺腔体，直接影响晶圆良率，增加设备维护与停机成本。

MKS 针对卤素腐蚀环境做材质选型优化，传感膜片与接液腔体统一采用耐腐蚀镍合金，具备优异耐卤素等离子腐蚀能力，抗氯离子、氟离子侵蚀，抑制电化学腐蚀与材料老化。整体采用全焊接结构，无橡胶、PTFE 等非金属密封垫片，消除密封件被卤素介质侵蚀老化的薄弱点，从源头杜封失效带来的泄漏风险。

传感器采用径向张拉镍合金膜片，低迟滞、高弹性，压力循环下保持良好测量重复性。电容传感原理具备气体无关特性，仅识别压差产生的力学形变，测量结果不受气体组分、分子量影响，在卤素介质环境下依旧维持高精度、快速响应。内置吸气剂持续维护参考腔高真空基准，降低长期零点漂移，延长设备使用寿命。

产品覆盖多档真空量程，支持标准工业模拟信号输出，可直接对接真空控制器、PLC 自动化系统。出厂执行多点读数标定，全量程测量精度具备溯源性。虽然材质具备优秀抗卤素能力，仍需规避长时间暴露于强氧化性工况，避免加速材料损耗。

抗卤素腐蚀接液材质，让压力计可直接接入卤素工艺管路，无需额外隔离装置，简化真空系统搭建。凭借耐卤素镍合金接液结构、全焊接无垫片腔体、气体无关电容传感、稳定的张拉膜片，MKS 电容压力计是半导体腐蚀型真空工艺环境中压力监测的核心精密仪器。