【简介】MKS美国-电容压力计-0~10VDC线性模拟输出
信号稳定线性度高，耐腐蚀镍合金接液腔体，气体无关电容传感，方便接入半导体真空设备控制系统实现压力监测。

MKS美国-电容压力计-0~10VDC线性模拟输出

MKS美国-电容压力计-0~10VDC线性模拟输出

MKS 美国电容压力计配备 0~10VDC 线性模拟输出，输出信号与压力值呈精准线性对应关系，信号稳定、抗干扰能力强，可便捷接入真空控制器、PLC 等自动化系统，适配半导体刻蚀、薄膜沉积、等离子工艺等各类真空制程，实现压力实时采集与闭环控制。

半导体真空工艺对压力信号的连续性、线性度要求严苛。普通压力变送器非线性误差大、信号漂移明显，会造成系统误判，导致工艺参数失控，影响晶圆加工一致性。0~10VDC 电压输出属于工业通用模拟接口，布线简单，无需额外转换模块，便于设备集成，是半导体真空设备主流的信号采集方案。

MKS 电容压力计的 0~10VDC 输出经过出厂多点校准，全量程保持优异线性度，压力变化时电压信号同步平稳响应，延迟低。传感主体采用镍合金接液腔体，全焊接无垫片结构，具备耐卤素、臭氧、水汽腐蚀能力，适配多种腐蚀性工艺介质。核心径向张拉镍合金膜片，低迟滞、抗疲劳，压力循环下测量重复性出色。

电容传感原理具备气体无关特性，仅响应压差带来的膜片力学形变，测量结果不受工艺气体组分、分子量影响。内置吸气剂稳定参考腔真空基准，抑制长期零点漂移，保障模拟输出信号长期稳定。可选恒温加热、蚀刻防护挡板等配置，满足高露点、高粉尘等严苛工况。

产品覆盖多档真空量程，0~10VDC 输出可直接对接各类工控采集模块，方便实现压力显示、记录与自动闭环调节。输出线路需做好屏蔽处理，降低现场电磁干扰，保证信号传输质量。

0~10VDC 线性模拟输出，简化真空系统集成，实现压力信号稳定传输与自动化控制。凭借高精度线性电压输出、耐腐蚀镍合金接液腔体、全焊接密封结构、气体无关电容传感，MKS 电容压力计是半导体真空自动化压力监测的核心精密仪器。