【简介】MKS美国-电容压力计-可选 EtherCAT数字通讯
高速实时数据传输，抗干扰强，镍合金耐腐蚀接液腔体，气体无关电容传感，适配半导体真空自动化产线。

MKS美国-电容压力计-可选 EtherCAT数字通讯

MKS美国-电容压力计-可选 EtherCAT数字通讯

MKS 美国电容压力计提供可选 EtherCAT 数字通讯接口，依托工业实时以太网实现高速、低延迟压力数据传输，抗电磁干扰能力强，便于接入自动化产线控制系统，适配半导体刻蚀、薄膜沉积、等离子工艺等真空制程，满足高精度实时压力监测与闭环控制需求。

半导体优良制程对设备通讯实时性要求，传统模拟信号传输易受现场电磁干扰，存在信号衰减、精度损失问题，难以满足高速工艺闭环控制。EtherCAT 作为工业主流实时总线，具备传输速度快、同步性好、拓扑灵活的特点，可实现多设备同步数据交互，减少信号转换环节带来的误差，方便产线集中管理。

MKS 这款电容压力计的 EtherCAT 版本，数字信号直接输出压力测量值，省去模拟量采集模块，提升数据精度。接液腔体与传感膜片采用耐腐蚀镍合金材质，搭配全焊接无垫片结构，耐受卤素、臭氧、水汽等腐蚀性工艺介质。核心径向张拉镍合金膜片，经预张拉时效处理，迟滞低、抗疲劳，压力循环工况下测量重复性优异。

电容传感原理具备气体无关特性，仅响应压差带来的膜片力学形变，测量结果不受工艺气体组分、分子量影响。内置吸气剂稳定参考腔真空基准，抑制长期零点漂移，出厂完成全量程多点标定，保证测量数据稳定可靠。同时可搭配恒温加热、蚀刻防护挡板等选配功能，应对粉尘、凝露等严苛工艺环境。

产品覆盖多档真空量程，支持标准 EtherCAT 协议，可直接接入主流 PLC 与产线上位系统，组网便捷，便于设备状态诊断与远程参数读取。相比模拟输出方案，数字通讯减少布线干扰，便于设备故障排查。

可选 EtherCAT 数字通讯，实现高速实时数据交互，简化自动化产线集成。凭借 EtherCAT 实时数字接口、耐腐蚀镍合金接液腔体、全焊接无垫片结构、气体无关电容传感，MKS 电容压力计是半导体真空自动化产线压力监测的核心精密仪器。