【简介】MKS美国-电容压力计-独立可调继电器触点
可自定义压力阈值实现开关量报警与联锁控制，镍合金耐腐蚀腔体，气体无关电容传感，适配半导体真空工艺安全保护。

MKS美国-电容压力计-独立可调继电器触点

MKS美国-电容压力计-独立可调继电器触点

MKS 美国电容压力计搭载独立可调继电器触点，用户可自由设定压力阈值，实现压力超限报警、设备联锁保护，开关信号独立可靠，适配半导体刻蚀、薄膜沉积、等离子工艺等真空制程，为真空系统提供安全联锁与状态告警功能。

半导体真空工艺对压力阈值保护要求严苛，压力异常会直接造成工艺报废甚至设备损坏。传统方案需要额外配置压力开关，增加硬件成本与管路泄漏点，调试繁琐。MKS 这款电容压力计集成继电器输出，无需额外加装独立压力开关，在采集压力数值的同时，直接输出开关触点信号，简化系统架构。

继电器触点参数可通过通讯或面板独立设置，支持高限、低限等多种触发模式，回差可调，避免压力小幅波动造成触点频繁抖动。接液腔体与传感膜片采用耐腐蚀镍合金，搭配全焊接无垫片结构，耐受卤素、臭氧、水汽等腐蚀性工艺介质，适配复杂等离子工况。核心径向张拉镍合金膜片，经预张拉时效处理，迟滞低、抗疲劳，压力循环下测量重复性优异。

电容传感原理具备气体无关特性，仅响应压差带来的膜片力学形变，测量结果不受工艺气体组分、分子量影响。内置吸气剂稳定参考腔真空基准，抑制长期零点漂移，出厂完成全量程多点标定，保证压力测量精准，保障继电器触发动作可靠。可选配恒温加热、蚀刻防护挡板等模块，应对凝露、粉尘等严苛工艺环境。

产品覆盖多档真空量程，继电器触点可直接接入 PLC、安全回路与声光报警装置，实现联锁停机、异常告警。选型时留意触点负载容量，匹配后端控制回路。

独立可调继电器触点，集成测量与压力联锁保护功能，减少外围硬件。凭借可自定义阈值继电器、耐腐蚀镍合金接液腔体、全焊接无垫片结构、气体无关电容传感，MKS 电容压力计是半导体真空工艺压力监测与安全保护一体化核心精密仪器。