【简介】MKS美国-电容压力计-美国原厂
高精度测量，读数不受气体组分影响，耐蚀全焊接膜片结构，输出线性信号，适配半导体、真空工艺压力监测。

MKS美国-电容压力计-美国原厂

MKS美国-电容压力计-美国原厂

MKS 美国原厂 Baratron® 电容压力计是精密真空与压力测量产品，采用电容膜片传感原理，直接检测压力产生的物理形变，测量结果不受被测气体组分影响，区别于热传导类真空规，不会因气体种类改变读数偏差，是半导体、真空工艺的标准压力监测元件。

传感器膜片采用 Inconel 镍基合金全焊接结构，无钎焊接缝，耐腐蚀性优异，可适配含卤素、水汽、微量酸性介质的严苛工艺环境。膜片组件出厂 100% 完成检漏测试，即便出现膜片破损，工艺气体也可被封闭在传感器内部，提升设备与人员安全。产品覆盖多档量程，从低真空至中高压区间均可选型，部分型号自带恒温控温结构，消除环境温度波动带来的测量漂移，保障长期读数稳定。

产品具备高精度、低迟滞、高重复性特性，测量精度以读数值百分比标定，低压段测量性能突出，分辨率可达满量程万分之一级别。标配 0~10VDC 线性模拟信号输出，也可提供数字通讯版本，信号线性度好，便于接入 PLC、工控主机实现工艺压力闭环调节。内置高真空参考腔，实现绝对压力测量，无需大气压补偿，省去外部基准校正环节。

在半导体、真空镀膜、真空冻干、材料热处理等工艺场景，腔体压力的微小波动直接影响产品良率。传统真空规受气体种类干扰，难以稳定控制工艺；MKS Baratron 电容压力计作为工艺压力基准，持续输出精准压力信号，支撑腔室压力闭环控制，稳定制程一致性。同时设备具备可靠过压防护能力，短时超压不易造成膜片形变，降低工艺异常带来的传感器损坏风险。

美国原厂整机制造与标定，出厂附带原厂校准证书，一致性品质可控。结构紧凑，安装接口标准化，可快速集成到各类真空腔体、工艺管路。广泛用于半导体刻蚀、薄膜沉积、真空镀膜、科研真空平台、冻干设备等领域。依托 MKS 原厂电容压力计优异的测量稳定性与耐蚀结构，实现高精度压力监控，保障精密工艺重复性，降低制程波动，提升产品良率，是真空系统压力测量的核心传感方案。