【简介】MKS美国-电容压力计-电容传感
压力变化引发膜片形变，改变电容差值，转化为压力信号。测量不受气体种类影响，高精度，适用于真空精密压力监测。

MKS美国-电容压力计-电容传感

MKS美国-电容压力计-电容传感

MKS 电容压力计核心依托电容传感原理，是 Baratron 系列实现高精度压力检测的底层技术。被测介质压力作用于薄壁金属膜片，压力变化带动膜片产生微量形变，膜片与固定电极之间的间隙随之改变，引发电容值发生对应变化；电路采集电容差值并转换为标准压力电信号输出，以此完成压力的精准测量。

该传感原理优势在于测量结果不受气体组分影响。热传导式真空规读数会随气体分子量改变，而电容传感采集的是压力带来的机械形变，无论氮气、氩气、氧气乃至部分腐蚀性工艺气体，相同压力下输出信号保持一致，无需根据气体种类修正读数，大幅简化真空工艺调试。

传感单元采用一体式金属膜片结构，膜片选用耐蚀镍基合金材料，全焊接密封参考腔，内部封装高真空基准。膜片极薄但抗疲劳性能优异，微小压力即可产生可检测形变，实现分辨率；同时具备良好抗过载能力，在短时压力冲击下不易发生性变形，维持长期测量重复性与线性度。部分型号搭载恒温控温模块，抑制环境温度漂移，进一步稳定电容基准，降低温漂带来的测量误差。

信号处理电路集成在传感器本体，可将微弱电容变化实时转换成标准模拟电压或数字信号，输出线性度高，方便接入工控系统、PLC 实现工艺闭环控制。传感组件出厂经过严格标定，每台产品单独校验，保障批次一致性，满足精密工艺对压力基准的严苛要求。

广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、真空镀膜、科研真空设备、冻干与热处理工艺。在精密真空制程中，腔室压力的微小波动直接影响成品良率。依托 MKS 电容传感技术，设备持续输出可靠压力数据，实现腔室压力稳定监控与闭环调节，减少工艺波动。该技术凭借抗气体干扰、高精度、高稳定的特性，成为真空领域压力测量的主流传感方案，为精密真空工艺提供可靠的压力测量基础。