【简介】MKS美国-电容压力计-宽量程覆盖
多规格型号可选，可覆盖从高真空到中压区间，同一原理实现跨区间测压，适配各类真空工艺压力监测场景。

MKS美国-电容压力计-宽量程覆盖

MKS美国-电容压力计-宽量程覆盖

MKS Baratron 电容压力计拥有丰富型号系列，实现宽量程覆盖，多规格量程可选，可覆盖高真空直至中压区间，依靠统一电容传感原理完成跨区间压力测量，适配不同真空工艺的压力监测与闭环控制需求。

全系列产品划分精细量程档位，从极低真空毫托级别，到 torr、kPa 中压量程均可选型。无论科研高真空实验、半导体低压刻蚀工艺，或是镀膜、热处理中压腔体工况，都能匹配对应的压力计。统一采用 Baratron 电容膜片传感架构，不同量程产品保持一致的测量逻辑，读数不受气体组分影响，便于工程师在多条产线、多套设备上统一使用同一套控制逻辑，降低学习与调试成本。

不同工艺对压力区间要求差异巨大。半导体薄膜沉积需要稳定的高真空低压环境；真空热处理、冻干设备则运行在中真空到中压区间。如果选用量程不匹配的压力传感器，会出现低压段分辨率不足，或是高压工况超量程损坏元件的问题。MKS 宽量程产品矩阵，允许用户按需选型，在目标工作区间发挥最佳精度，兼顾微小压力捕捉与工艺耐压能力。

各量程版本延续镍基合金焊接膜片结构，部分型号搭载恒温控温模块，抑制温漂，保障全量程内的线性度与重复性。传感器具备过压保护设计，短时间冲击压力可被耐受，降低工艺误操作带来膜片形变的风险。信号输出形式统一，支持模拟电压与数字通讯接口，方便标准化集成到 PLC、工控系统，方便项目模块化设计。

广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、真空镀膜、材料热处理、实验室真空平台、医药冻干等领域。依托 MKS 电容压力计宽量程覆盖特性，项目可根据工艺压力区间灵活选型，在不同制程场景下维持高精度、稳定可靠的压力采集能力，减少设备选型限制，统一产线传感硬件方案，简化备件管理，为各类真空精密工艺提供完整压力测量解决方案