BROOKS 布鲁克斯-真空计-双区恒温控制 分别对传感膜片与参考腔独立控温，抑制温漂，防止工艺副产物冷凝。有效降低污染影响，压力测量稳定，适配半导体腐蚀真空工况。

BROOKS 布鲁克斯-真空计-Mark-IV 传感头 采用 Inconel 耐腐蚀膜片，预留污染物沉积缓冲区域，抗工艺污染，减少重校频次。搭配双区温控，温漂低，测量稳定，适配 XacTorr 加热电容真空计，多用于半导体真空工艺

BROOKS 布鲁克斯-真空计-MEMS 传感芯体 微型化集成设计，响应速度快，抗温漂。依托微机电结构实现高精度压力检测，长期稳定性佳，适配半导体真空工艺，支持数字与模拟信号输出。

BROOKS 布鲁克斯-真空计-超宽测量量程 依托 MEMS 传感技术，实现 9 个数量级超宽量程测量，零点漂移补偿，测量稳定。单台替代多支真空规，支持数字 / 模拟输出，适配半导体与工业真空工艺。