产品介绍Chroma 致茂-自动光学检测-高分辨率相机
Chroma 致茂-自动光学检测-高分辨率相机
Chroma 致茂 AOI 高分辨率相机,是致茂自动光学检测系统的核心成像组件,专为半导体先进封装、Mini/Micro LED 显示面板等高精密制程打造,提供高解析度、高稳定性的图像采集能力,为 2D 缺陷识别与 3D 形貌量测提供清晰图像数据源。
在微纳制造检测场景中,微小划痕、微颗粒异物、线路缺口、RDL 细微断线等缺陷尺寸极小,普通相机像素不足,图像模糊,极易造成漏检、误判。致茂高分辨率相机搭载高性能感光芯片,像素密度高,可捕捉微米级细微特征,还原工件表面真实细节,保障微小缺陷有效检出。相机兼顾成像清晰度与采集速度,在保证高分辨率的同时维持较高帧率,满足产线在线高速检测产能需求,不会因成像拖慢整条产线节拍。
相机采用专业光学设计,动态范围优异,可适配不同反光特性的被测工件,应对晶圆、基板、铜线路、焊料凸点等材质带来的明暗反差,减少高光过曝与暗区噪点问题。具备低噪声成像特性,长时间连续工作下图像质量稳定,温漂控制良好,适应车间内温度波动的工业现场环境。标准化接口设计,可直接集成至致茂 AOI 平台,搭配多组程控光源与物镜协同工作,支持 2D 外观检测与 3D 量测同步取像。
相机经过严格出厂校准,成像一致性好,机台之间图像偏差小,便于产线多台设备统一判定标准。配套致茂自研图像算法,可快速解析高清图像,自动定位缺陷位置,提取缺陷尺寸信息,降低伪缺陷报警率。设备支持 SECS/GEM 通讯,采集的图像与检测数据可上传 MES 系统,用于 SPC 制程统计分析。
面对 HBM、2.5D 封装、Micro LED 等制造严苛质检需求,高分辨率相机是 AOI 系统的视觉基础。依靠清晰稳定的图像采集能力,助力产线精准识别微缺陷,把控制程品质,减少不良品流入下一工序。作为整套光学检测链路的前端核心部件,致茂高分辨率相机为一体化 AOI 检测方案提供可靠的图像支撑,保障精密电子制造在线质检稳定运行。
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