【简介】Chroma 致茂-自动光学检测-光学镜头模组
采用多倍率程控光学设计，可快速切换视场，成像畸变小，适配 2D 缺陷检测与 3D 形貌量测，满足先进封装微结构高精度检测。

Chroma 致茂-自动光学检测-光学镜头模组

Chroma 致茂-自动光学检测-光学镜头模组

Chroma 致茂 AOI 光学镜头模组，是自动光学检测系统的核心光学组件，搭配高分辨率相机协同工作，面向半导体先进封装、Mini/Micro LED 显示面板等精密制造领域，为 2D 缺陷筛查与 3D 形貌量测提供高品质成像支撑。

在微纳制程检测场景中，RDL 线路、微凸点、VIA 孔等微小结构对成像质量要求严苛。普通镜头容易出现畸变、边缘虚化、色差等问题，造成缺陷漏检、尺寸测量偏差。致茂光学镜头模组采用精密光学镜片组合，经过专业像差校正，畸变控制优异，全视场成像均匀，中心与边缘区域清晰度保持一致，能够精准还原工件表面微结构细节。

模组采用程控多倍率设计，可根据检测需求自动切换放大倍率。低倍率用于大面积基板快速扫描，完成全域缺陷初筛；高倍率聚焦局部微区，检测微小划痕、异物、线路缺损等精细缺陷。镜头具备优异的透光性能，适配多种波段光源，可配合环形、同轴等多类型照明方案，应对不同材质工件的反光差异，降低图像反光干扰。

整套模组采用模块化硬件架构，与致茂 AOI 平台标准化适配，拆装维护便捷。镜头经过高低温环境测试，温漂控制良好，可稳定适应工厂车间温度波动，长时间连续检测工况下成像性能不衰减。镜头与相机、3D 量测单元深度匹配，既可支持二维外观缺陷识别，也可满足白光干涉三维形貌扫描，保证 3D 断差、凸点高度等参数测量稳定可靠。

系统可通过软件统一管理倍率切换、对焦参数，无需人工手动调节，契合自动化产线节拍。搭配平台 AI 缺陷算法，高清成像数据可快速完成缺陷定位、尺寸提取，降低误报率。设备可接入 SECS/GEM 通讯，图像与检测数据上传 MES 系统，实现 SPC 制程管控。

在 HBM、2.5D/3D 先进封装、显示面板质检场景，光学镜头模组决定图像采集质量。致茂光学镜头模组兼顾视场范围、解析力与稳定性，保障 AOI 一体化检测方案稳定运行，助力企业把控微纳制程品质，减少不良品流出。