产品介绍Chroma 致茂-自动光学检测-可编程光源系统
Chroma 致茂-自动光学检测-可编程光源系统
Chroma 致茂 AOI 可编程光源系统,是自动光学检测平台的核心照明单元,可独立调控多通道光源的波段、角度、亮度与频闪时序,面向半导体先进封装、Mini/Micro LED 面板等精密制程,为 2D 缺陷识别、3D 形貌量测、异色缺陷检测提供可定制化光照方案。
微纳工件材质差异大,晶圆、基板、焊料凸点、封装树脂反光特性各不相同。固定光源极易产生镜面反光、阴影,掩盖细微划痕、异物、色差缺陷,造成漏检或误报。致茂可编程光源搭载多分区 LED 阵列,支持同轴、环形、低角度多角度照明组合,可根据检测目标自由切换光照模式,抑制强反光,强化缺陷与基材之间的图像对比度。
系统支持软件编程预设多组照明方案,针对不同检测工位一键调用。检测凸点高度、VIA 孔深度可选用斜射光凸显轮廓;识别表面异色、氧化瑕疵时切换特定光谱光源,放大色差信号。光源与相机、镜头模组时序联动,同步控制曝光与频闪,提升图像信噪比,降低噪点,保障微米甚至纳米级特征成像清晰。
整套光源系统具备高稳定性,长时间连续作业亮度衰减低,温漂控制优异,适配工厂车间温度波动环境。模块化设计便于维护更换,光源分区可单独启停调节,降低能耗。可与 AOI 定位解析模块联动,在工件定位完成后自动匹配对应的光照参数,无需人工现场调试,大幅缩短新产品换型时间。
光源系统深度适配一体化 AOI 检测流程,一次上料可调用多套光照方案依次采集图像,同步完成外观、异色、三维形貌检测。支持 SECS/GEM 通讯,光照参数、图像数据上传 MES 系统,用于制程分析。
在 HBM、2.5D/3D 先进封装、显示面板质检场景,可编程光源是缺陷可视化的关键。致茂可编程光源系统,通过灵活可控的照明策略,减少光学干扰,提升缺陷检出率,降低误报,为精密电子在线光学检测提供稳定可靠的照明支撑。
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