【简介】MKS美国-真空压力传感器-自带继电器点
内置继电器输出触点，可自定义压力阈值。超限直接触发开关信号，Baratron 高精度测量，快速联动报警保护，适配半导体真空工艺安全监测。

MKS美国-真空压力传感器-自带继电器点

MKS美国-真空压力传感器-自带继电器点

MKS 美国真空压力传感器，依托 Baratron 电容薄膜技术，内置可编程继电器报警触点，可自定义压力阈值，当真空压力超出设定上下，继电器快速动作输出开关量信号，直接联动外围设备实现工艺保护，为半导体真空制程提供压力超限安全监测方案。

普通真空压力传感器仅输出模拟量信号，报警逻辑需要依靠后端 PLC 编程开发，增加程序调试工作量，故障响应存在延迟。一旦真空压力出现异常，无法快速切断气源或触发声光报警，极易造成腔体、晶圆报废。MKS 这款传感器集成板载继电器触点，阈值参数可直接在传感器本地设置，无需额外工控模块，压力超过预设限值即可快速通断继电器，实现本地预警、切断气路等保护动作。传感器采用 Inconel 合金膜片，测量不受气体种类影响，保障报警触发压力值精准可靠。

产品输出标准 0-10VDC 模拟信号，兼具连续压力监测与开关报警双重功能，线性度优异，便于接入真空压力控制器实现闭环调控。接液腔体为全金属焊接结构，耐化学腐蚀，配套密封件可选氟橡胶、全氟橡胶，适配各类工艺腐蚀气体与宽温工况。部分型号可选加热控温结构，减少工艺副产物凝结沉积膜片，降低测量漂移。产品经过继电器通断耐久、压力循环、长周期老化测试，频繁触发动作后触点可靠性高，无误触发、拒动作问题。配备多种标准真空接口，适配各类腔体管路安装。

该传感器广泛应用于半导体刻蚀腔体、薄膜沉积镀膜设备、等离子工艺系统、真空热处理炉、化工真空反应腔、真空测试平台等场景。在半导体制程中，压力异常时继电器快速触发报警联动，降低工艺事故风险；在连续运行镀膜产线，本地阈值预警减轻上位机 PLC 运算压力，提升工艺安全性。

MKS 美国真空压力传感器，融合内置继电器触点报警、Baratron 气体无关测量、耐腐蚀合金腔体、稳定模拟输出等特性，将压力监测与超限保护一体化，省去额外报警硬件，满足半导体、薄膜制造行业真空工艺安全监测的严苛工况需求