【简介】MKS美国-真空压力传感器-支持多通讯
采用 Baratron 电容薄膜技术，支持多通讯，可选 EtherCAT、DeviceNet 等数字接口并兼容模拟输出，适配各类 PLC 工控系统，集成灵活

MKS美国-真空压力传感器-支持多通讯

MKS美国-真空压力传感器-支持多通讯

美国 MKS 真空压力传感器采用经典 Baratron 电容薄膜传感技术，支持多通讯方式，除常规模拟量输出外，可搭载多种数字通讯协议，兼容主流工控总线，适配各类 PLC 与上位机系统，广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、真空镀膜、等离子工艺等自动化真空产线。

该传感器兼顾模拟与数字双路线输出方案，数字通讯可选 EtherCAT、DeviceNet 等工业总线。数字通讯具备传输速度快、抗干扰能力强的特点，支持传感器参数读取、远程零点校准、状态诊断等功能；传统模拟信号则可兼容老旧工控设备，方便设备改造升级。用户可根据控制系统架构自由选择输出方式，不用更换传感器本体，选型灵活，适配新旧设备混用的产线场景。

单一输出类型的真空传感器兼容性受限，当产线升级总线控制系统时，往往需要整体更换传感器，改造成本高、工作量大。MKS 多通讯版本传感器可匹配不同时代的控制架构，一条产线内新旧控制系统都能对接，减少备件种类，降低设备升级改造成本。

该传感器为力学式压力测量，具备气体无依赖特性，测量结果不受气体组分影响，无需气体系数修正。湿面采用 Inconel 镍基合金，全焊接结构密封性好，低释气、洁净度高，耐腐蚀。核心膜片抗蠕变，迟滞小、重复性佳，线性输出好、分辨率高，抗振动且可承受短时过压冲击；部分型号搭载恒温模块，降低污染物沉积带来的漂移。配备 KF、CF 标准真空法兰，量程覆盖面广，安装适配性强。

自动化真空产线控制系统方案多样，不同设备厂商选用的工业总线各有差异。MKS 真空压力传感器凭借丰富的通讯选项，无缝对接各类工控平台，实现压力数据高速上传与远程监控，助力产线数字化管控，保障工艺稳定。依托 Baratron 成熟传感技术、多样化通讯配置与稳定可靠的本体结构，该传感器是自动化真空设备压力监测的优选器件。