【简介】MKS美国-真空压力传感器-带继电器输出
采用 Baratron 电容薄膜技术，自带继电器输出，可预设压力阈值，超限直接触发开关信号，方便真空系统报警、联锁保护控制

MKS美国-真空压力传感器-带继电器输出

MKS美国-真空压力传感器-带继电器输出

美国 MKS 真空压力传感器采用经典 Baratron 电容薄膜传感技术，配备继电器输出功能，支持自定义压力阈值，压力超出设定范围即可输出开关信号，用于真空系统报警、联锁保护，广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、真空镀膜、等离子工艺等需要安全联动控制的真空场景。

传感器内部集成继电器控制单元，用户可根据工艺需求设置上限、下限压力触发点。当腔体真空压力达到预设阈值时，继电器触点自动动作，输出无源开关量信号，可直接对接报警指示灯、声光报警器、阀门、泵体等执行部件，快速实现工艺安全联锁。该功能无需额外增加独立压力开关，减少外围元器件，简化控制回路，节约设备内部安装空间。

常规真空监测方案中，压力测量与超限联锁需要分开配置传感器和压力开关，不仅增加采购成本，还多出多处接线、密封点位，提升泄漏和线路故障风险。MKS 这款传感器集压力测量与开关联锁于一体，一边持续采集、传输压力数值，一边实时比对阈值，快速触发保护动作，在压力异常时及时关停工艺气体或者停机，规避工艺事故。

该传感器为力学式压力测量，具备气体无依赖特性，测量结果不受气体组分影响，无需气体系数修正。湿面采用 Inconel 镍基合金，全焊接一体化结构，密封性优良，低释气、洁净度高，耐腐蚀性工艺气体。核心合金膜片抗蠕变，迟滞小、重复性好，输出线性佳，分辨率高，具备良好抗振动能力，能够承受短时过压冲击；部分型号可选恒温模块，减少副产物沉积，抑制零点漂移。产品配备 KF、CF 标准化真空法兰，量程选择丰富，同时兼容模拟、数字通讯输出。

真空工艺对安全防护要求较高，压力异常容易引发工艺报废甚至设备风险。MKS 真空压力传感器依靠自带继电器输出，在精准监测压力的同时实现就地联锁保护，响应迅速，保障设备与制程安全。依托 Baratron 成熟传感技术、集成化开关控制设计以及稳定耐用的全金属结构，该传感器是带安全联锁需求真空系统的优选监测器件。