【简介】MKS美国-真空压力传感器-内置显示可选
可选内置本地显示屏，现场直观查看真空压力读数。Baratron 高精度测量，无需外接仪表，便于现场调试巡检，适配半导体真空工艺监测。

MKS美国-真空压力传感器-内置显示可选

MKS美国-真空压力传感器-内置显示可选

MKS 美国真空压力传感器，依托 Baratron 电容薄膜传感技术，提供可选内置本地显示模块，可就地直观展示实时真空压力数值。无需外接二次仪表，现场直接读取测量数据，方便设备调试、巡检排查，为真空工艺现场压力监测带来便捷直观的人机交互方案。

普通真空压力传感器无本地显示，现场查看压力必须依靠上位工控电脑或者外接数显仪表，增加硬件成本与布线工作量。设备调试、故障巡检时操作繁琐，一旦上位机离线，现场无法快速确认腔体压力状态，不利于快速定位工艺异常。MKS 这款传感器可选配集成显示屏版本，传感采集的数据直接在传感器本体屏幕实时展示，现场人员就地读取压力读数，简化调试与巡检流程。传感膜片采用 Inconel 镍基合金，测量结果不受气体种类影响，无需气体修正，保证屏幕显示数值真实准确。

产品标配标准 0~10VDC 模拟信号输出，线性度优异，可同步接入工控系统实现真空闭环控制。接液腔体采用全金属焊接结构，耐化学腐蚀，配套密封件可按需选用氟橡胶、全氟橡胶，适配各类腐蚀性工艺气体。部分型号可选加热温控结构，减少工艺副产物冷凝附着膜片，降低测量漂移。产品经过长时间连续显示、压力循环耐久测试，显示屏与传感单元长期工作稳定，读数刷新流畅。可选配多种标准真空接口适配腔体安装；部分型号集成继电器报警触点，超限触发预警保护工艺安全。

该传感器广泛应用于半导体刻蚀腔体、薄膜沉积镀膜、等离子工艺系统、真空热处理炉、真空测试平台、实验室真空实验平台等场景。在设备现场调试与日常巡检工况下，就地查看压力数值，不依赖上位机；在腔体维护检修阶段，快速读取真空压力，提升故障排查效率，缩短停机时间。

MKS 美国真空压力传感器，融合可选本地显示模块、Baratron 气体无关测量、Inconel 耐蚀合金腔体、稳定模拟信号输出等特性，省去外部二次显示仪表，方便现场就地观测压力，满足半导体、薄膜制造行业现场巡检工况下真空压力高精度监测的严苛工况需求