【简介】MKS美国-真空压力传感器-真空测量基准
Baratron 电容薄膜技术，可作为真空测量基准，出厂溯源标定，精度高、迟滞低。气体无关测量，适合半导体制程真空压力标准比对。

MKS美国-真空压力传感器-真空测量基准

MKS美国-真空压力传感器-真空测量基准

MKS 美国真空压力传感器，依托 Baratron 电容薄膜技术，可作为可溯源真空压力测量基准。原厂逐台标定，指标稳定、迟滞极低，测量与气体无关，用于真空设备比对校准，适配实验室与半导体计量场景。

普通真空传感器精度、长期稳定性不足，无法作为参考标准，仪器校准比对时容易引入基准误差，造成全厂传感器量值不统一，工艺测量溯源链断裂。MKS 这款传感器采用 Inconel 合金张紧膜片与全金属焊接结构，力学形变可逆，重复性优异，出厂在标准计量环境完成多点溯源校准，计量证书完整，能够充当传递标准，对现场其他真空传感器进行比对校验。测量原理为纯力学检测，读数只由压力决定，不受工艺气体分子量影响，气体切换无需修正，保证基准比对的真实性。

产品输出标准 0~10VDC 模拟信号，线性度优良，便于接入采集系统。配套密封件可选耐化学配方，耐受各类工艺腐蚀气体。部分加热型型号，抑制可凝副产物沉积膜片，减少污染物带来的零点漂移。产品经过长期老化、压力循环、高低温稳定性测试，长时间作为参考基准使用，零点与量程漂移极小。可选配多种标准真空接口适配计量腔体安装；部分型号集成继电器报警触点，压力超限预警，保护基准传感器不受损坏。

该传感器广泛应用于真空计量实验室、半导体设备计量校准台、薄膜设备标定平台、真空测试装置、科研真空实验平台等场景。在计量实验室，作为传递基准，对产线在用真空传感器开展定期比对校准；在半导体制程，统一各腔体传感器量值，保障全厂压力测量数据可追溯、一致性高。

MKS 美国真空压力传感器，融合可溯源原厂标定、低迟滞 Inconel 传感膜片、气体无关测量、全金属焊接腔体等优势，承担真空压力量值传递工作，搭建可靠计量溯源链路，满足半导体、薄膜制造行业真空压力计量比对、仪器校准的严苛工况需求。