【简介】MKS美国-真空压力传感器-标准真空接口
配备行业通用标准真空接口，适配多种工艺腔体管路。Baratron 电容薄膜技术，安装互换性强，密封可靠，便于半导体真空设备集成装配。

MKS美国-真空压力传感器-标准真空接口

MKS美国-真空压力传感器-标准真空接口

MKS 美国真空压力传感器，依托 Baratron 电容薄膜传感技术，配备 KF、VCR、CF 等行业通用标准真空接口，接口互换性强，便于和工艺腔体管路对接。全金属密封连接，气密性可靠，简化真空设备集成，适配半导体各类真空腔体安装。

非标接口传感器通用性差，设备集成时需要额外定制转接头，增加管路泄漏风险与机械设计成本，备件互换困难。MKS 这款传感器可选多种标准化真空连接接口，包含 KF 快卸、VCR 金属面密封、CF 超高真空法兰等主流规格，是半导体制真空设备通用接口标准。接口采用金属密封形式，搭配 Inconel 合金膜片与全金属焊接腔体，无有机密封件污染风险，满足高洁净工艺需求。标准化接口规格统一，同接口型号可直接替换，无需改动腔体管路结构。

产品测量原理为电容薄膜式，测量结果不受气体种类影响，无需气体修正。输出标准 0~10VDC 模拟信号，线性度优良，便于接入工控系统与压力控制器实现真空闭环调控。配套密封件可按需选用氟橡胶、全氟橡胶耐化学配方，适配各类腐蚀工艺气体。部分型号可选加热温控结构，减少工艺副产物沉积膜片，降低零点漂移。产品经过氦检检漏、压力循环耐久测试，标准法兰装配后长期保持高真空密封性能。可选配继电器报警触点，压力超限触发预警，保护工艺安全。

该传感器广泛应用于半导体刻蚀腔体、薄膜沉积镀膜、等离子工艺系统、真空热处理炉、多腔体并行产线、真空测试实验平台等场景。在设备集成阶段，依靠标准真空接口，减少定制转接件，降低泄漏隐患；在设备维护更换传感器时，同规格接口直接互换，缩短停机检修时间。

MKS 美国真空压力传感器，融合多规格标准真空法兰接口、气体无关测量、Inconel 耐蚀合金全金属焊接腔体、高气密金属密封等优势，接口通用性强，简化真空设备装配与备件替换，满足半导体、薄膜制造行业真空腔体集成安装下压力高精度监测的严苛工况需求。