【简介】MKS美国-真空压力传感器-长期稳定性好
采用 Baratron 电容薄膜技术，长期稳定性优异，零点漂移小，重复性好，耐温抗腐蚀，测量不受气体种类影响，适配半导体、真空镀膜等精密真空工艺监测。

MKS美国-真空压力传感器-长期稳定性好

MKS美国-真空压力传感器-长期稳定性好

美国 MKS 是*真空测量领域企业，旗下真空压力传感器以优异长期稳定性为核心优势，依托经典 Baratron 电容薄膜传感技术，长期在半导体、真空镀膜、等离子刻蚀、科研真空测试等工艺中稳定运行，是精密真空监测的优选设备。

该传感器核心传感元件采用 Inconel 合金薄膜，材料力学性能稳定，抗蠕变能力强，长时间承压、循环工况下薄膜形变不易发生性偏移，从硬件层面控制零点漂移与量程漂移。部分型号内置恒温控温模块，将传感腔维持在恒定温度，大幅削弱环境温度波动带来的测量误差，减少工艺副产物凝结沉积在膜片表面，进一步降低长期使用后的零点偏移，显著延长校准周期，减少现场维护频次MKS。

传感器具备良好的重复性与迟滞特性，多次压力升降循环后读数一致性高，不会随工作时长出现明显性能衰减。其测量原理不受气体种类影响，在惰性气体、部分腐蚀性工艺气体环境下均可稳定输出压力信号。传感器湿面耐腐蚀，全焊接密封结构，抗压力冲击，短时压力骤变不会造成传感元件损伤，保障设备在连续生产工况下稳定工作。

产品支持模拟量与数字通讯输出，信号输出稳定，噪声低，便于接入真空控制系统实现闭环工艺调控。丰富量程系列覆盖从高真空到粗真空区间，接口规格齐全，安装适配性强。

在半导体等连续量产工艺中，真空度长期稳定直接决定产品良率。MKS 真空压力传感器凭借出色长期稳定性，可长时间持续监测腔体真空压力，降低因传感器漂移带来的工艺波动，减少停机校准成本。凭借数十年技术沉淀，MKS 真空压力传感器凭借可靠、低漂移的特性，广泛应用于各类真空工艺，成为行业内高稳定性真空压力测量的代表性产品。