【简介】MKS美国-真空压力传感器-抗振动优良
采用 Baratron 电容薄膜技术，结构稳固抗振动优良，设备震动工况下读数稳定，不易零点漂移，适合真空泵、镀膜设备等存在振动的真空工艺监测。

MKS美国-真空压力传感器-抗振动优良

MKS美国-真空压力传感器-抗振动优良

美国 MKS 真空压力传感器采用经典 Baratron 电容薄膜传感技术，抗振动优良，整体结构坚固稳定，在真空泵运行、设备运动带来的持续振动工况下，测量读数稳定，零点不易漂移，广泛应用于半导体刻蚀、真空镀膜、等离子工艺、科研真空测试等存在机械振动的真空场景。

传感器采用径向张拉工艺的 Inconel 镍基合金膜片，搭配全焊接一体化金属壳体，整体机械结构刚性强，内部电极组件经过加固设计，能够有效抵御持续振动与冲击带来的扰动。区别于含有灯丝、脆弱薄膜元件的传统真空计，该传感器无易损脆弱零件，振动环境下不易出现元件位移，降低电容信号异常抖动风险。内部信号调理电路做抗振与电磁加固处理，抑制振动引发的信号噪声，保证输出信号平稳可靠。

普通真空传感器结构刚性不足，在真空泵、旋转机构持续振动环境下，内部元件易发生微小位移，造成零点漂移、读数跳变，工艺压力监测失真，需要频繁停机重新校准。MKS 这款传感器凭借优良的抗振动性能，可长期安装在靠近真空泵、传动组件等振动源附近，减少振动对测量结果的干扰，降低现场维护与校准频次。

传感器属于力学式压力测量，具备气体无依赖特性，测量结果不受气体组分影响，无需气体系数修正。高强度合金膜片抗蠕变，迟滞小、重复性好，输出线性优异，分辨率高，可承受短时过压冲击。全焊接结构真空密封性好，湿面耐介质腐蚀，可耐受腐蚀性工艺气体；部分型号内置恒温模块，降低温度漂移。产品支持标准模拟信号输出，配备多种真空法兰接口，安装适配性强，量程选型丰富。

真空镀膜、半导体设备运行过程中，真空泵、电机持续运转会产生持续振动。MKS 真空压力传感器依靠优良抗振性能，在振动环境下稳定采集真空压力数据，保障真空闭环控制平稳，减少工艺波动，提升产品良率。依托 Baratron 成熟传感技术、加固式机械结构与全焊接壳体设计，该传感器为存在持续振动的真空系统提供稳定可靠的压力监测方案。