MKS美国-电容压力计-蚀刻专用防挡板版本 内置防挡板阻挡等离子颗粒冲击，镍合金耐腐蚀接液腔体，气体无关电容传感，适配半导体干法蚀刻真空压力监测。

MKS美国-电容压力计-降低污染引发零点漂移 恒温控温抑制工艺副产物沉积在膜片表面，镍合金耐腐蚀腔体，气体无关电容传感，长期维持真空压力测量基准稳定。

MKS美国-电容压力计-控温减少工艺产物沉积 维持腔体温度高于介质露点，降低膜片污染物附着，镍合金耐腐蚀腔体，气体无关电容传感，适配半导体真空制程。

MKS美国-电容压力计-最高200℃高温加热型号 高温控温抑制介质冷凝，镍合金全焊接接液腔体耐腐蚀，气体无关电容传感，适配高露点半导体真空工艺压力监测。

MKS美国-电容压力计-可选恒温加热传感器 恒温控温避免水汽冷凝与介质附着，镍合金接液腔体耐腐蚀，气体无关电容传感，适配半导体易凝露真空工艺压力监测

MKS美国-电容压力计-耐受蒸汽与去离子水 镍合金全焊接接液腔体抗水汽侵蚀，无易老化非金属密封件，气体无关电容传感，适配半导体湿法及蒸汽真空工况压力监测。