Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-量程可编程 支持量程可编程，依托 MultiFlo 功能，软件即可修改满量程，无需更换硬件，适配工艺配方迭代，简化设备平台化设计

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-多气兼容 支持多气兼容，依托 MultiFlo 功能，单台可切换多种工艺气体与量程，无需拆机重校准，适配半导体多种气体配比工艺。

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-量程宽广 量程宽广，覆盖微量 sccm 到大流量 slpm 规格，支持多气体切换，适配多种工艺气体，满足半导体不同制程的气体流量调控需求

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-重复度高 重复度高，多次启停流量一致性好，批次间波动小，搭载精密传感补偿，保障气体配比稳定，适用于半导体刻蚀、CVD、ALD 精密工艺

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-零点稳定 零点稳定，长期运行漂移小，降低频繁校准需求，抗压力与温度扰动，适配高纯及腐蚀气体，用于半导体刻蚀、CVD 精密气体管控

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-响应迅速 响应迅速，流量稳定时间短，超调量小，可快速跟随设定值变化，金属密封流路，适配脉冲供气，广泛用于半导体刻蚀、CVD 精密工艺