Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-压力免疫 具备压力免疫特性，内置压力补偿算法，抵御进出口压力波动干扰，流量输出稳定，保障气体配比，适配半导体复杂管路工况

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-断阀可靠 断阀可靠，阀芯结构稳固，多次启停密封性能稳定，抗压力冲击，关断动作稳定，适用于半导体 ALD、脉冲供气精密工艺

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-超低泄漏 具备超低泄漏特性，阀座密封性能优异，待机残余气体少，防止气体串扰，保障气路纯度，适配半导体 ALD、MOCVD 等高精密制程。

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-哈氏合金 哈氏合金流路，强耐腐蚀性，可耐受卤素等强反应性气体，搭配全金属密封，低析出，适配半导体 MOCVD、刻蚀严苛工艺

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-耐蚀抗腐 耐蚀抗腐，特种合金流路，适配卤素等腐蚀性工艺气体，可选全金属密封，析出低，稳定可靠，用于半导体刻蚀、MOCVD 严苛制程。

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-全金属封 全金属密封流路，无橡胶析出，耐腐蚀耐高温，流道电解抛光，洁净度高，适配超高纯工艺气体，多用于半导体 MOCVD、ALD 等制程