MKS美国-压力传感器-超宽压力量程 依托 Baratron 电容膜片传感结构,单台覆盖多数量级压力区间。测量气体无关,低压段仍维持高精度,适配半导体真空各类工艺段监测。
750D13PFE4GA
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2026-10-17
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MKS美国-压力传感器-读数式精度标定 误差基于实际读取压力值计算,而非满量程。全量程精度均匀,低压段同样保持高准确度,搭配 Baratron 芯体,适配半导体精密真空测控。
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2026-10-17
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MKS美国-压力传感器-超高测量精度 采用张拉 Inconel 膜片,实现超高测量精度,按读数值计算误差,低迟滞高分辨率,恒温控温抑制温漂,气体无关测量,适配半导体精密真空制程
750D12PFF4GA
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2026-10-17
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MKS美国-压力传感器-气体无关测量 依托 Baratron 电容膜片力学测压原理,读数不受气体组分、分子量影响。混合及腐蚀性工艺气体下测量稳定,适配半导体等离子真空制程。
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MKS美国-压力传感器-电容膜片测压 张拉式 Inconel 合金膜片受压产生微形变,转化为电容信号。测量与气体种类无关,迟滞低、重复性好,适配半导体腐蚀性真空工艺。
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MKS美国-压力传感器-巴特拉芯体 采用 Inconel 合金张紧膜片电容结构,内置高真空参考腔。测量与气体种类无关,迟滞低、重复性优,耐工艺腐蚀,是半导体压力测量经典传感核心。
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