MKS美国-压力传感器-Micro-Ion电离真空 采用微型电离规原理,用于超高真空测量。微型结构,检出限低,精准监测半导体腔体高真空,适配镀膜、刻蚀设备真空测控
141AA-00100DB
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2026-10-15
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MKS美国-压力传感器-MicroPirani热真空传感 依托微型皮拉尼传感原理,体积小巧,测量低真空区间。响应快、功耗低,用于半导体粗真空监测、腔体预抽真空及真空检漏
141AA-00100DA
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2026-10-15
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MKS美国-压力传感器-MEMS 压电传感技术 依托硅基 MEMS 压电传感芯片,体积小巧、响应迅速,气体无关测量。抗震动耐冲击,316 不锈钢膜片,适配半导体真空、薄膜工艺压力监测
141AA-00100BB
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2026-10-15
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MKS美国-压力传感器-差压测量传感 采用电容薄膜原理,精准采集两点介质压力差值。高灵敏度膜片,抗过载,用于气体流量监测、过滤器压差、工艺腔体差压测控
141AA-00100BA
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2026-10-15
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MKS美国-压力传感器-表压测量型号 以现场大气压为参考基准,采用电容薄膜原理。实时监测相对压力,结构简洁,适配工业高压、流体工艺及通用设备压力测控场景
141AA-00100AB
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2026-10-15
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MKS美国-压力传感器-绝对压力测量型 采用电容薄膜原理,直接测量绝对压力,不受环境大气压波动影响。测量稳定精准,适配半导体真空腔体、等离子工艺的压力闭环监测
141AA-00100AA
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2026-10-15
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