MKS美国-压力传感器-抵御卤素腐蚀性气体 可抵御卤素腐蚀性工艺气体，保护膜片不被侵蚀，长期测量稳定，适用于半导体刻蚀真空压力监测。

MKS美国-压力传感器-膜片故障密闭防护 膜片破损后可阻隔工艺气体，防止气体外泄，保护后端真空系统，降低半导体工艺安全风险。

MKS美国-压力传感器-高爆破压力安全设计 当压力超限，膜片可控破裂泄压，防止腔体压力骤升引发危险，保障真空设备与工艺安全。

MKS美国-压力传感器-高过压耐受能力 精密电容膜片可承受短时超压冲击，膜片不易发生塑性变形，保护传感核心，保障真空工艺压力测控稳定。

MKS美国-压力传感器-100出厂泄漏检测 每件产品完成氦检，严控漏率，保障全焊接腔体真空密封性，杜绝微漏，适配半导体高真空工艺压力监测。

MKS美国-压力传感器-全焊接密封腔体 无橡胶密封圈，气密性优异，规避密封件老化腐蚀漏气风险，适配真空工艺长期精密压力监测。