MKS美国-电容压力计-绝压测量 以内部真空为基准,无需大气压补偿,测量不受气体影响,用于真空工艺精准绝对压力监测。
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MKS美国-电容压力计-真空可测量 内置密封高真空参考腔,直接测量绝对真空压力,读数不受气体种类影响,适配半导体、镀膜等真空制程监测。
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MKS美国-电容压力计-宽量程覆盖 多规格型号可选,可覆盖从高真空到中压区间,同一原理实现跨区间测压,适配各类真空工艺压力监测场景。
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MKS美国-电容压力计-高精度测压 具备优异重复性与线性度,测量不受气体种类干扰,分辨率高,支持真空微小压力捕捉,用于半导体精密工艺压力闭环控制
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MKS美国-电容压力计-电容传感 压力变化引发膜片形变,改变电容差值,转化为压力信号。测量不受气体种类影响,高精度,适用于真空精密压力监测。
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MKS美国-电容压力计-美国原厂 高精度测量,读数不受气体组分影响,耐蚀全焊接膜片结构,输出线性信号,适配半导体、真空工艺压力监测。
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